Физические основы вакуумной техники
Александр Василевский
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-112698-4, 5-7782-2424-9
ISBN-13: 978-5-04-112698-8, 978-5-7782-2424-7
Год выхода: 2014
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+
Категория:
Учебная литература