Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2
Александр Величко
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-113045-0, 5-7782-2534-2
ISBN-13: 978-5-04-113045-9, 978-5-7782-2534-3
Год выхода: 2014
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+