Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления

Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления

Л. П. Милешко

Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).

Купить можно в магазинах:

ISBN-10: 5-04-234580-9, 5-9275-3182-2

ISBN-13: 978-5-04-234580-7, 978-5-9275-3182-0

Язык книги: ru

Возрастные ограничения: 0+