![Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления](https://isbns.ru/storage/covers/ru/0/0/74410-osnovy-processov-poluceniya-legirovannyx-oksidnyx-plenok-metodami-zol-gel-texnologii-i-anodnogo-okisleniya.jpg)
Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления
Л. П. Милешко
Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-234580-9, 5-9275-3182-2
ISBN-13: 978-5-04-234580-7, 978-5-9275-3182-0
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+