Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Коллектив авторов
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 )
x
(Al 2 O 3 ) 1 –
x
. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO
x
N
y
и нитрида Si 3 N 4
кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-040135-3
ISBN-13: 978-5-04-040135-2
Год выхода: 2011
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+