Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
А. П. Достанко
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-063762-4, 985-08-1993-6
ISBN-13: 978-5-04-063762-1, 978-985-08-1993-2
Год выхода: 2016
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+