Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Коллектив авторов
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.
Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-158515-6, 985-08-2298-8
ISBN-13: 978-5-04-158515-0, 978-985-08-2298-7
Год выхода: 2018
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+
Издательсто:
Издательский дом “Белорусская наука”
Категория:
Учебная литература