Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
М. А. Королев
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-457-53465-0
ISBN-13: 978-5-457-53465-0
Год выхода: 2020
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+
Издательсто:
Лаборатория знаний
Категория:
Техническая литература