Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)
Ю. В. Колковский
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники».
В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники.
Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-04-154200-7, 5-94836-471-2
ISBN-13: 978-5-04-154200-9, 978-5-94836-471-1
Год выхода: 2017
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+