Зондовые нанотехнологии в электронике
В. К. Неволин
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология.
В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.
Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.
Купить можно в магазинах:
ISBN-10: 5-457-61809-9, 5-94836-382-1
ISBN-13: 978-5-457-61809-1, 978-5-94836-382-0
Год выхода: 2014
Язык книги: ru
Возрастные ограничения: 0+